無塵室，也稱潔凈室，是指一個具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發(fā)性氣體。更準確地講，一個無塵潔凈室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數(shù)，或者用最大顆粒大小來厘定的。低級別的無塵潔凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的，更多的是關心空氣傳播的灰塵。

無塵潔凈室的定義

空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當潔凈的環(huán)境。亦即：這個環(huán)境中的微塵粒子相當少，稱之為潔凈室。無塵潔凈室被廣泛地應用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，例如半導體生產(chǎn)、生化技術、生物技術、精密機械、制藥等行業(yè)等，其中以半導體業(yè)其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內，才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設施，潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。

無塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，無塵潔凈室內的制造區(qū)。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風管道間，將潔凈室之循環(huán)風量與外氣空調箱之補充風量混合，經(jīng)由冷卻盤管將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風扇或FFU帶動無塵潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，最后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)或過濾后，供應至Fab區(qū)。

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